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SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像，而且还可以同时接收多种信号。此外，它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多性能。
SU7000是一台实现了信息获取量大化的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。
接下来请欣赏SU7000带来的多*。
通过相机拍摄样品
将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航
SU7000可选配导航相机(*)，迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内，插入样品后，可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面（SEM MAP）窗口，因此，用户可以观察窗口中的图像判断位置。大适用尺寸为φ 100 mm。
SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时，可以选用PD-BSED（背散射电子探测器）、UVD、MD等各种探测器(**)。
低真空环境的探测器选择
左图为通过MD（背散射电子），右图为通过UVD（二次电子）探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。
PD-BSED：响应速度提高
左图是以一般的响应速度，约每两秒扫描一次得到的图像；右图抑制了图像的漂移，使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高，更适用于In-Situ观察。
| 项目 | 内容 | ||
|---|---|---|---|
| 图像分辨率 | 二次电子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x | ||
| 电子枪 | 发射体 | ZrO/W热场发射（肖特基热场发射） | |
| 加速电压 | 0.1～30 kV （步进：0.01 kV） | ||
| 束流 | 大200 nA | ||
| 探测器 | 标准探测器 | UD （上探测器) | |
| MD （中探测器） | |||
| LD （下探测器) | |||
| 选配探测器*1 | PD-BSED (半导体式背散射电子探测器） | ||
| UVD（高灵敏度低真空探测器 ） | |||
| 低真空模式*1 | 样品仓压力范围 | 5～300 Pa | |
| 可使用探测器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 马达台 | 马达台控制 | 5轴马达驱动 | |
| 移动范围 | X | 0～135 mm | |
| Y | 0～100 mm | ||
| Z（WD） | 1.5～40 mm | ||
| T（倾斜角） | -5～70° | ||
| R（旋转角） | 360° | ||
| 样品尺寸 | 大直径：φ200 mm, 大高度：80 mm | ||
| 显示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持双屏 | ||
| 图像显示模式 | 全屏显示模式 | 1,280×960像素显示 | |
| 单屏显示模式 | 800×600像素显示 | ||
| 双屏显示模式 | 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2 | ||
| 四屏显示模式 | 640×480像素显示 | ||
| 六屏显示模式*2 | 640×480像素显示 *2 | ||
| 图像数据保存 | 保存图像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 选配附件 | 能谱仪（EDX） | ||
| X射线波谱仪（WDX） | |||
| 电子背散射衍射（EBSD） | |||
| 阴极荧光探测器（CL) | |||
| 冷冻传输系统 | |||
| 各种功能样品台 | |||
