基于设计数据的计量系统

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2021-02-26 21:21:05
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日立高新技术（上海）国际贸易有限公司北京分公司

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「RecipeDirector」特点

提高生产性以及测量程式质量

  • 可不使用晶片及测长SEM，离线作成测量程式
  • 可仅通过制定计测点及测长方法，自动作成测量程式
  • 可不依赖于操作者的技术，作成统一质量的测量程式
  • 采用服务器&客户端方式


利用设计数据自动作成测长SEM测量程式

「DesignGauge-Analyzer」特点

  • 对CG5000中取得的SEM图像进行再次测长
  • 具备可通过SEM图像查阅及表格形式进行测长结果确认等数据分析功能
  • 使用测长算法的Contour（模型形状的轮廓线）提取功能（Contour：可选功能）


光刻工艺的OPC评价，模型测量的化的支持

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