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定期进行仪器的校验和校准。平面度仪的测量精度与校验状态密切相关，因此定期对仪器进行校验和校准是非常重要的。校验应由专业人员进行，确保仪器的测量精度和准确性。同时，校验后及时记录校验结果，方便日后使用时进行参考。

注意仪器的合理使用和操作。在使用平面度仪时，应严格按照操作手册进行操作，避免操作不当造成仪器损坏。当仪器不再使用时，应及时关闭电源，并妥善保管仪器，防止损坏或丢失。

保持仪器的良好性能和功能。平面度仪的关键部件如测量臂、探测器等需要保持清洁和灵活性。定期对关键部件进行清洗和润滑工作，以确保仪器的正常工作和稳定性。同时，在使用过程中要注意保护仪器，避免碰撞或掉落，以免损坏关键部件。

定期对仪器进行保养和维修。平面度仪作为精密仪器，需要定期进行保养和维修，以确保其正常运行和延长使用寿命。保养工作包括清洁、润滑、检查和调整等。如果发现仪器出现故障或异常情况，应及时送修或请专业人员处理，切勿私自拆卸或修理，以免增加故障和损坏的风险。