原子力显微镜 XE-100技术参数（机械部分）：
1. XY扫描器：50µm×50µm（闭环），可选配100µm×100 µm（闭环）
2. Z扫描器：12µm （可选配25µm）
3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过±1nm
4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°
5. 样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm （Z）
6. 样品尺寸：100mm×100mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品

原子力显微镜 XE-100技术参数（电子部分）
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准