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扫描探针显微镜NanoFirst-3100技术指标:
| SPM探头 |
| 样品尺寸：直径小等于30mm；厚度小等于15mm。 |
| XYzui大扫描范围：标准6X6微米 |
| XY向分辨率：0.4nm（轻敲模式）；0.3nm（AFM模式）；0.1nm（STM模式） |
| Ｚ向分辨率：0.05nm（轻敲模式）；0.03nm（AFM模式）；001nm（STM模式） |
| XY二维样品移动范围：５mm；精度0.5微米 |
| 步进马达自动进行针尖-样品逼近 |
| 44-283X连续变倍彩色CCD显微观察系统（选配） |
| 电化学针尖块，液电池，液体轻敲式成像功能（选配） |
| 全金属屏蔽防震隔音箱/精密隔震平台（选购） |
扫描探针显微镜NanoFirst-3100特点
| 计算机全数字化控制，操作简捷直观。 |
| 步进马达自动进行针尖--样品逼近，保证实验圆满成功。 |
| 深度陡度测量，三维显示。 |
| 纳米材料粗糙度测量、颗粒径度测量及分布统计。 |
| Ｘ、Ｙ二维样品移动平台，快速搜索样品区域． |
| 标准RS232串行接口,无需任何计算机卡 |
| 样品观测范围从0.001um-20000um。 |
| 扫描速度达40000点/秒 |
| 可选配纳米刻蚀功能模块。 |
