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M215190扫描电子显微镜技术参数
1.高真空模式：3.0nm 低真空模式：4.0nm
2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切换
3.样品台X:80mm Y:40mm T:-10 to +90degree R:360degree
4.加速电压0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA
5.真空系统马达驱动台能谱分析接口
M215190扫描电子显微镜主要特点
1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像。
2.全自动电子枪
3.高灵敏度半导体背散射探头
4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统
5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2厘米见方的样品
