原子力显微镜 XN-10技术参数：
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围50μm×50μm（可选100μm×100μm）
分辨率：0.05nm
定位检测噪音：<0.3nm（带宽：1kHz）
平面偏移度:<1nm（超过40μm扫描）
原子力显微镜 XN-10主要特点：

一、计量精确
XE系列AFM*消除了球面误差，因而具备了实现精确纳米计量的能力。

二、扫描器线形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器zui大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和精度。

三、非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFMzui显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。

四、CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。