Nano-rP原子力显微镜主要由带针尖的微悬臂、微悬臂运动检测装置、监控其运动的反馈回路、使样品进行扫描的压电陶瓷扫描器件、计算机控制的图像采集、显示及处理系统组成

Nano-rP原子力显微镜主要特点
范围：80um
直线性：1%
分辨率：0.1nm
Z-Scan:
范围：8um
分辨率：0.1nm
Z噪讯：0.13nm悬臂传感器开
       0.07nm悬臂传感器关
彩色视频显微镜
放大倍数（9”监测器）：1000
自動放大/聚焦：4
視野：140um*190um
解析度：1.5um
自動X-Y台：
範圍：25.4 x 25.4 mm
步長：3um
回轉速率：1.2mm/sec
掃描模式：
—接觸模式
—側力模式
—緊密接觸模式
—非接觸模式
—原料感模式
—力/距離模式