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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能
可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。
项目 | 内容 |
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样品尺寸 | 50mm×50mm×12mm(t)以下 |
样品台 | 5轴电动机械优中心马达台 |
加速电压 | 1~30kV (0.5kV~ 选配) (0.5~1.0kV : 步长0.1kV) (1.0~2.0kV : 步长0.2kV) |
二次电子分辨率 | 4nm@30kV |
探针电流 | 90nA |
探针电流密度 | 50A/cm2 |