追求的TEM样品制备工具

在设备及高性能纳米材料的评价和分析领域，FIB-SEM已成为的工具。
近来，目标观察物更趋微细化；更薄，更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。
日立高新公司，整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术，再加上加工方向控制技术以及Triple Beam®＊1（选配）技术，推出了新一代产品NX2000

• 运用高对比度，实时SEM观察和加工终点检测功能，可制备厚度小于20 nm的超薄样品

• 加工方向控制技术（Micro-sampling®＊3系统（选配）+高精度/高速样品台＊）对于抑制窗帘效应的产生，以及制作厚度均一的薄膜类样品给予厚望。

• Triple Beam®＊1（选配）可提高加工效率，并能使消除FIB损伤自动化