产品特性

观测位置始终处于全幅对焦状态实时深度合成

无需焦点调整，全新观测形式

3D显示功能

技术参数

XY电动载物台

XY自动载物台2相步进马达

XY自动载物台分辨率：1μm（typ.）

XY自动载物台移动速度：10mm/s（大）

XY自动载物台移动量：±20mm

θ旋转角±90°

XY载物台尺寸：上方171mm×168mm（*圆板φ100）

透射照明观测对应倍率：20倍以上

Z电动载物台

Z自动载物台5相步进马达

Z自动载物台分辨率：0.1μm（typ.）

Z自动载物台移动速度 ：17mm/s（大）

Z自动载物台移动量：49mm

测量功能

物TRIPLE‘R功能

高分辨率尺寸测量功能

距离﹑角度﹑半径﹑面积等

自动计数/面积测量等

标尺显示功能

自动边缘检测功能

全自动图像校正功能

一键图像校正功能

测量点再设定功能

测量值自由显示功能

尺寸显示功能

测量辅助功能

CSV保存功能

3D彩色/标尺显示高度功能

2点间高度测量功能

3D轮廓测量

3D截面轮廓测量

3D体积测量

3D面之间的距离测量

3D面之间的角度测量

探头参数

我司可提供多种类型的探头可满足你不同的应