Ø产品简介

MiniLab060是英国MOORFIELD公司一款落地式高性能科研级PVD综合镀膜系统，采用模块化设计，可在一台仪器上实现电子束蒸发镀膜，常规电阻热蒸发镀膜，低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜，有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，同时该系统还可加载等离子源，刻蚀系统与退火系统，是科研用户PVD的理想选择。

Ø产品特性

• 落地式薄膜沉积系统，模块化设计

• 可选择4个DC与RF磁控溅射源，用于金属及绝缘层镀膜，溅射靶角度连续可调，可独立/依次/共同溅射

• 可选择4个电阻热蒸发源与低温热蒸发源，用于金属及有机物镀膜

• 可选择电子束源，用于难熔金属或者蒸汽压低的金属材料

• 大可支持11英寸样品

• 兼容手套箱

• 可加4路反应气体，Ar，N2，O2可选配有MFC控制

• 配置高精度真空规进行压力全自动控制，真空度低至 <5×10-7 mbar

• 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测

• 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作

• 自定义并可存储多个recipe

• 操作安全：自带各种软硬件互锁功能

• 售后维护简单

• 样品台：可加热（800℃），冷却，旋转，升降，偏压，行星式衬底夹具

• 可选配预真空锁，实现高真空环境下的样品传递

• 可选配离子源：用于样品预清洗及纳米表面改性

• 可选配高温退火系统

Ø典型结构

• 难熔金属蒸镀：配置多坩埚电子束源

• 金属薄膜与绝缘层蒸镀：配置4个磁控溅射源

• 金属薄膜蒸镀：配置4个电阻高温热蒸发源

• 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源与2个LTE低温热蒸发源

Ø应用

该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。