Ø产品简介

NanoPVD-T15A是英国MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研级热蒸发系统，配置有常规电阻热蒸发系统及低温热蒸发系统，分别用于金属薄膜蒸镀及有机薄膜蒸镀，该系统被上许多学术团队采用，广泛应用于OLED/OPV/OFET的研究领域。

Ø产品特性

• 紧凑型桌面结构，模块化设计

• 可同时用于金属薄膜蒸镀及有机薄膜蒸镀

• 4英寸样品台

• 真空度低至 <5 × 10-7 mbar

• 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度监测

• 可安装4个LTE低温热蒸发源（用于蒸镀有机物薄膜）

• 低温热蒸发源温度600℃

• 2个电阻热蒸发源（用于蒸镀金属薄膜）

• 电阻热蒸发源的温度1700℃

• 高纵横比仓室，用于获得高质量薄膜

• 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作

• 自定义并可存储多个recipe

• 操作安全：自带各种软硬件互锁功能

• 可选加热样品台，温度500℃

• 可选旋转样品台

• 售后维护简单

• 兼容超净间

Ø典型结构

• 有机薄膜蒸镀：配置4个LTE低温热蒸发源

• 金属薄膜蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源

• 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源与2个LTE低温热蒸发源

Ø应用

该系统用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。可广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。