、仪器名称及型号：v400E型大尺寸扫描超声显微镜

第二、品牌：德国KSI公司

第三、设备主要用途：

Ø 测试被测工件内部缺陷，如空洞、分层、裂缝、异物等；

Ø 扫描图像模板功能，轻松获得参数一致的声学显微图像；

第四、超声扫描显微镜在失效分析中的优势简介

Ø 非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构

Ø 可分层扫描、多层扫描

Ø 实施、直观的图像及分析

Ø 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计

Ø 可显示材料内部的三维图像

Ø 对人体是没有伤害的

Ø 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）

第五、产品特色简单介绍

KSI V400E是一款高产能声学显微镜，可以对塑封集成电路IC、IGBT大功率模组，各型电容、以及铜基板器件进行无损检测，分析器件内部之分层、裂缝、空洞等缺陷。X轴和Y轴均是新型超高速线性伺服电机，磁悬浮结构，扫描速度快，比常规机器要快30%以上同时经久耐用。能对器件作多种扫描模式，如点扫描(A-)、纵剖扫描（B-）、横剖扫描（C-）、多层横剖扫描(X-）等。

Ø 扫描范围大：400mm x 400mm；（常规机器一般约是300mm x 300mm）

Ø 扫描重复精度高：+/-0.1微米（常规机器只能做到0.5微米）

Ø 采用磁悬浮超高速机型，扫描速度快：2米/秒(常规机器小于1米/秒²)

Ø 扫描加速度：30米/秒²，KSI一台机器相当于常规机器2台的工作量

Ø 的低噪防误判测量探头，在高速扫描时可去除水花导致的误判, 成像更加清楚（常规机器没有）

Ø 为中国用户开发了简体中文界面

第六、设备主要参数

6.1 电子和声学显微系统单元

Ø 放大倍率：625倍

Ø 新型FCT换能器频率范围 5~400 MHz，所有换能器带有压制水花噪声的降噪设计

Ø 射频增益：50dB

Ø 探头焦距：2mm-50mm 可选

Ø 模数转换AD卡：1GHz

Ø 声学信号激发和接收装置带宽：5MHZ-555MHz

Ø 大图像采样像素：32000×32000像素

6.2 机械扫描单元

Ø X/Y/Z轴驱动系统：采用直线磁悬浮电机

Ø X轴和Y轴的扫描速度：2米/秒，加速度：30米/平方秒

Ø 扫描范围：400mm x 400mm

Ø X轴和Y轴的精度：+/-0.1微米

Ø Z轴调焦行程：100mm

Ø 工作台：标准、托盘、真空吸附、定制等可选

Ø 样品槽尺寸：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)

6.3 Ksi Vision测试分析软件单元

Ø 扫描模式：包含点波形(A-Scan)、纵剖扫描(B-Scan)、横剖扫描(C-Scan)、斜剖扫描（D-Scan）、等间隔多层横剖扫描(X-Scan)、自定义多层横剖扫描、透射扫描、3D等扫描模式等；

Ø 软件可以实时记录X轴的加减速曲线；

Ø 几何测量功能：能对C扫描图像进行精确X-Y测量，Z方向由时间座标显示；

Ø 面积测量功能：要求能对分层缺陷面积进行测量，并计算出在任意面积下缺陷所占的面积百分比；

Ø 二维图像处理功能:

(a)可对图像进行视频增强、边界强化、轮廓凸现、对比度增强、图像反转等基本图像处理方式；

(b)图像着色：能通过灰度、固定色、彩虹色等模式对图像进行着色；

(c)对检测图像具有注释功能；

Ø 三维超声CT成像软件功能：

(a)可对被检工件作三维超声CT成像；

(b)可对图像任意缩放、旋转，还可对三维图像进行切割。

Ø 系统自我保护功能：

（a）开机自检功能、假如有异常，会报故障信息提示框；

（b）具有Z轴对焦限位保护功能，能避免换能器由于误操作与样品发生撞击；

（c）换能器上同时具有物理保护角，能防止探头传感器部分与样品直接碰撞。