DE300电子束蒸发系统

LOAD LOCK预真空进样室（可选） 

· 前开门蒸发腔体 

· 冷凝泵和干泵 

· 多坩埚位旋转电子枪 

· zui大6”基片 

· 基片旋转 

· 基片偏压（可选） 

· 离子源清洗基片（可选） 

· 基片加热1000度（可选） 

· 晶振沉积速率及膜厚控制 

· 系统手动或自动控制 

· 良好的薄膜均匀性和重复性 

· 可沉积金属、半导体和绝缘材料 

· 可沉积多层膜

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DE TECHNOLOGY LIMITED

德仪科技有限公司

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德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料、阀门、真空计和流量计、真空密封穿导件等各种真空部件。十几年来，凭着的品质，*的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持！ 

      我们期待为您提供您使用的真空薄膜沉积设备和部件！ 

主要产品：

                 Sputter 磁控溅射薄膜沉积系统 
                  E-Beam 电子束蒸发薄膜沉积系统 
                  Thermal 热阻蒸发薄膜沉积系统 
                  PLD 脉冲激光镀膜系统 
                  Sputter Sources 磁控溅射阴极 
                  DC/RF Power Supply 直流/射频电源 
                  E-Beam Sources 电子束蒸发源 
                  Thermal EVP Sources 热蒸发源 
                  Deposition Materials 溅射靶材和蒸发镀膜材料 
                  Sample Manipulator 样品台 
                  Feedthroughs 电子穿导器件 
                  Vacuum Valves 真空阀门 
                  Vacuum Components 真空配件 
  
                  的品质、优质的服务是我们的宗旨！