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美国材料实验室DE300热阻蒸发薄膜沉积系统

DE300 Thermal美国材料实验室DE300热阻蒸发薄膜沉积系统

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具体成交价以合同协议为准

2015-12-11 17:00:00: 630

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产品简介

德仪科技有限公司专业进口美国磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发和脉冲激光真空薄膜沉积设备，以及磁控溅射源/电源、电子束蒸发源、溅射靶材和蒸发材料等。十几年来，凭着的品质，*的技术和周到的技术服务，德仪公司的产品为中国的高校、科研院所及企业的薄膜沉积工作提供了有力的支持。

详细介绍

LOAD LOCK预真空进样室（可选）
前开门蒸发腔体
冷凝泵和干泵
4个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源
zui大6”基片
基片旋转
基片偏压（可选）
离子源清洗基片（可选）
基片加热1000度（可选）
晶振沉积速率及膜厚控制
系统手动或自动控制
良好的薄膜均匀性和重复性
可沉积金属、半导体和绝缘材料
可沉积多层膜及合金薄膜

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