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产品特点：

光学面材料：Au,Ni,Mo,etc...

*的复制技术

光谱范围：EUV(60-200eV)

SXR（200-2000eV）

j镜片形态：椭球镜，抛物面镜，也可根据需求定制其他非球面镜

典型表层粗糙度：Ra≈0.3-2nm

典型尺寸：直径（D）5-250mm;长度（L）10-100mm

2.MFO

MFO是一款应用于软X射线和EUV波段的光学器件，有两组相互垂直的极薄反射镜组成，光子通过掠入射角进行反射。MFO一般由玻璃，硅或金属等薄片组装而成。

可根据客户要求定制多种形状（如龙虾眼，Kirkptrick-Baez等）

产品特点：

光学面材料：Au,Ni,Mo,etc...

宽视场（max±60°）

薄片厚度：30μm-1mm

孔径：3x3mm-300x300mm

能量范围：50eV-10keV)

平面，椭圆，和一般非球面

玻璃、硅和金属

表层材料：Au, Ni, Mo, Pt, W...