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UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪
UVISEL Plus光谱范围从FUV到NIR:190-2100nmUVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。
产品优势
●高精度和高灵敏度
●模块化设计
●宽光谱范围: 190-2100 nm
●集数据测量、建模和自动化操作为一体的软件包
获得的信息
●膜层厚度,从1Å到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光学常数 (n,k) ,适用于各向同/异性和渐变层
●光学特性如:吸收系数α, 光学带隙Eg
●材料性能:合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等
●穆勒矩阵
●退偏
UVISEL 规格
●光谱范围:标配190-885nm,可扩展至近红外2100nm
●检测系统:高分辨率光谱仪配合高灵敏探测器
手动配置
●光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(针孔)
●样品台:直径150mm,手动调节高度(20mm)和倾角
●卡位量角器:手动调节角度,从55°到90°,步径5°
自动配置
●光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(针孔)
●自动样品平台:200 x 200mm或300 x 300mm,手动调节高度(4mm)和倾角;●XYZ样品台,theta平台
●自动量角器:自动调节角度,从45°到90°,步径0.01°
集成型量角器
●手动调节入射角度,从35°到90°,步径5°
●样品台:直径150mm,手动调节高度(20mm)
●自动准直系统(可选)
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
在线配置
●机械适配器:CF35或KF40法兰
●易于在在线和离线配置间更改
选配
●附件:冷热台、液体样品池、电化学反应池、反射模块(测试0°入射的反射率)等
●可视化:CCD摄像机
性能
●准确度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空气对射1.5 - 5.3 eV
●重复性:NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001