UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪

UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪

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具体成交价以合同协议为准
2024-10-14 14:14:48
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产品简介

UVISELPlus椭圆偏振光谱仪UVISELPlus光谱范围从FUV到NIR:190-2100nmUVISELPlus椭圆偏振光谱仪为薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合

详细介绍


UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪

UVISEL Plus光谱范围从FUV到NIR:190-2100nm
UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。
UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型,它采用了PEM 相位调制技术,与机械旋转部件技术相比, 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技术,可在3分钟以内实现高分辨的样品测试(190-2100 nm),校准仅需几分钟。基于全新的电子设备,数据处理和高速单色仪,FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq专门为薄膜表征设计,双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。
相位调制技术的特点为高频调制 50 kHz,信号采集过程无移动部件:
测试全范围的椭偏角,Ψ (0-90),Δ (0-360)
从FUV到NIR具有优良的信噪比
数据采集速度快,高达50毫秒/点,是动力学研究和在线测量的理想选择相比于采用 旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪,UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面,还可以表征50µm的厚膜。
 在测试有背反射的透明样品时,测试简单、准确,无需刮花背面。
UVISEL Plus还设计有多种附件及可选功能,便于客户根据应用需求及预算选择合适的配置。比如,微光斑用于图案样品、自动变角器、自动样品台等。
UVISEL Plus采用模块化设计,可灵活扩展。即可用于离线台式测量,也可以耦合于镀膜设备做在线监控。
UVISEL Plus可根据习惯选择操作界面,一个是 DeltaPsi2 具有建模和拟合处理功能;另一个是 Auto-Soft 用户导向的全自动样品测试界面 ,工作流程直观,易于非专业人士操作。
UVISEL Plus搭载FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示、微电子和光伏领域中优选通用光谱型椭偏仪。

UVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。


产品优势
●高精度和高灵敏度
●模块化设计
●宽光谱范围: 190-2100 nm
●集数据测量、建模和自动化操作为一体的软件包


获得的信息
●膜层厚度,从1Å到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光学常数 (n,k) ,适用于各向同/异性和渐变层
●光学特性如:吸收系数α, 光学带隙Eg
●材料性能:合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等
●穆勒矩阵
●退偏


配置

UVISEL 规格
●光谱范围:标配190-885nm,可扩展至近红外2100nm
●检测系统:高分辨率光谱仪配合高灵敏探测器
 手动配置
●光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(针孔)
●样品台:直径150mm,手动调节高度(20mm)和倾角
●卡位量角器:手动调节角度,从55°到90°,步径5°
 自动配置
●光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(针孔)
●自动样品平台:200 x 200mm或300 x 300mm,手动调节高度(4mm)和倾角;●XYZ样品台,theta平台
●自动量角器:自动调节角度,从45°到90°,步径0.01°
 集成型量角器
●手动调节入射角度,从35°到90°,步径5°
●样品台:直径150mm,手动调节高度(20mm)
●自动准直系统(可选)
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
 在线配置
●机械适配器:CF35或KF40法兰
●易于在在线和离线配置间更改
 选配
●附件:冷热台、液体样品池、电化学反应池、反射模块(测试0°入射的反射率)等
●可视化:CCD摄像机
性能
●准确度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空气对射1.5 - 5.3 eV
●重复性:NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001




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