真空等离子清洗机SPV-240

真空等离子清洗机SPV-240

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具体成交价以合同协议为准
2024-10-14 14:29:54
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广东新一辰设备有限公司

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产品简介

一、简介1.1概要真空等离子清洗机(Plasmacleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能

详细介绍

一、简介

1.1 概要

真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

 

1.2 产品特点

产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品

水平电极设计,可满足软性产品处理需求。

低耗能、耗气产品。

便捷的收放板方式

真空系统集成,占地面积小

合理的等离子反应空间,使处理更均匀

集成的控制系统设计,使操作更方便

 

1.3行业应用

手机行业:TP、中框、后盖表面清洗活化

PCB/FPC行业:孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁

半导体行业:半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理

陶瓷:封装、点胶前处理

表面粗化蚀刻:PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻

塑胶材料:Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化

ITO涂覆前表面清洗

 

二、技术规格

2.1设备规格

 

电源系统


射频电源

中频电源

功率

0~1000W

0~2000W

频率

13.56MHz

40KHz

真空系统

 

泵组

罗茨泵+单级旋片泵

真空管路

全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管

材质

铝合金(可定制不锈钢腔体)

厚度

25mm

密封性

级焊接密封

腔体内部尺寸

590(W)*600(D)*660(H)mm

电极板有效尺寸

575×510mm(宽×深)

可用空间间距

34mm

电极板布置方式

水平布置,可活动抽取

工作托盘

标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)

工作空间

8层

气体系统

流量范围

0~300SCCM

工艺气体气路

标配两路,可定制(氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳)

控制系统

系统控制

PLC

交付方式

7寸触控屏幕

其它参数

外形尺寸

1050×1750×1050mm(宽×高×深)

重量

350KG

设备外观颜色

银灰色

 

2.2厂务规格要求

厂务规格要求

交流电源规格

电源:AC380V,50/60Hz,5线,30A

厂务排气

流量:2.0 m³/min

厂务工作气体要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm²

管径:6×4 mm

材质:PU管

纯度:99.99%以上

厂务压缩空气要求

流量:1~10 L/min

压力:3~7 kg/cm²

管径:8×5 mm

材质:PU管

露点:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft³

 

 

2.3 一般规格

一般规格

危险标识

高压危险标识

使用环境

温度:15~30℃

湿度:30~70%

其他注意事项

不可有可燃性气体,腐蚀性气体,爆炸或反应性粉尘

气瓶需固定

 

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