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Smart SE, 智能型多功能椭偏仪
Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。
Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模
分析。自动化双软件操作平台,从简化的工作流程到研发,满足不同层次和需求的客户。
Smart SE是一款性价比的薄膜研发工具,以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统,准确定位分析位置及区域,7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵,用于复杂样本的研究。
Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域,包括微电子,光伏,显示,光学涂料,表面处理和有机化合物等。
产品优势
●快速、准确
●易于升级
●光斑可视化
可选附件
●全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010
●全自动样品台:直径200mm和300mm可选
●可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
●冷热台
●液体样品池和电化学反应池
●十字星自准直系统