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精确控制的测试测量环境 - 高真空腔体,4~675k温度范围。
多种配件可选/升级 - 2~8英寸载物台,定位器数量及精度、温度范围、光学穿墙件。
高性价比 - 液氮/氦致冷系统,设备初始配置成本比闭循环系统低。
结构紧凑 - 小型化结构设计,是空间紧张的研究单位的理想选择。
KeyFactor公司为用户提供了高性价比配置的真空高低温探针台,该系统配置了KeyFactor研发的CryoPS-Celcius温度控制系统,为用户提供精准、稳定、高效的温度控制,节约用户的设备预算。
CryoPS-Celcius配套了4个高精度PID温度控制器,用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况,确保温度测试的可靠性。同时,200W 大功率直流输出,可让样品台快速从-196℃上升至200℃,极大地提供了温控效率,为用户节省大量宝贵的实验时间。由于系统中温控部件均为直流配置,也大大地减少了加热部件的干扰,提供了系统 的漏电精度。
除了高性价比入门级配置,KeyFactor公司还为用户研发了高性价比配置的真空高低温探针台系统。该系统配置了Cryocon的Model 26C或者Lakeshore的Model336温度控制系统,为用户提供精准、稳定且高效的温度控制。
CryoPS-Kelvin真空高低温探针台系统,使用国际上的温度控制系统和传感器,温度范围为4.4至675K(常规系统至475K),温度稳定性可达0.1K。该系统亦同时配套有4路输入和两路PID输出,可精准且全面地对系统的温度进行监视和控制。CryoPS-Kelvin为开循环系统,用户可根据实际需求,使用液氮或液氦对系统进行降温,获得相应的目标温度(77K/4.4K)。
高低温探针台系统达到10^-3mbar即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户,可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度,从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户,可选用分子泵组对系统进行抽真空。KeyFactor的常规低温探针台系统,可达10^-5mbar。也可选配更高真空度的泵组,以满足测试要求。
为了减少泵组的振动,我们还专门为用户设计了隔振器,地衰减泵组工作时产生的振动,以确保系统的稳定,减少探针的漂移。
精准、可靠的电学测试测量配置也是KeyFactor高低温探针台系统的优势。
我们可为用户提供多种探针台配置,如常规的钨探针用于基础的I-V测量,同轴探针用于高精度的I-V/C-V以及PIV测量,TrueKelvin同轴探针用于高精度的C-V测量,微波测试探针用于S参数的表征测量等等。
除了探针,KeyFactor也为用户提供了多种真空穿墙接头以用于不同的测试系统间的连接。目前常用的配置有BNC,SMA、TRIAX三同轴接头,2.92mm微波测试接头等等。
普通的样品夹具,通常由OFC制作并与系统共地。我们也提供同轴或三同轴配置的样品夹具,用于超低漏电测试应用中。所有样品夹具表面均有TYPE II规格的镀金层,增强样品的导电性能。
我们同时还提供多种尺寸的磁体样品台,用于提供小范围的垂直磁场,方便用户进行磁场测试。
冷头、探针、探针臂及屏蔽层均有温度监测传感器,为用户提供多个准确的温度信息,让用户快速地把握测试环境的大致情况。
待测器件(DUT)的温度会受到辐射及周边部件热传导的影响,因此,如果没有完善的热锚技术,将无法得到精准可靠的目标温度。由于传感器只是安装在恒温器上,而不是安装在DUT上,DUT的温度实际将比您在控制器上观察到的温度要高出许多。
为了避免由于温度不准而导致错误的测试结果,我们对探针、探针臂、辐射屏蔽层都使用了热锚技术,地减少温度误差。同时,整体系统也配置了低温屏蔽层,用于屏蔽300K辐射,提升系统温度的精确性和稳定性。