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JX系列大工作平台半导体检查显微镜,采用研究级显微镜R照明系统和光学系统,人机工程学设计全面提升,照明均匀,成像清晰,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。突破性的大金相机架设计,支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC | |
观察筒 | 30°倾斜 | 0°- 35°倾斜 |
正像,无限远铰链式三通观察筒,瞳距调节:50-76mm, 分光比:100:0或0:100 | ||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调 | |
物镜 | 明暗场半复消金相物镜5X、10X、20X、50X | |
转换器 | 明暗场五孔转换器,带DIC插槽 | |
调焦机构 | 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm;带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置,内置100-240V宽电压系统。 | |
载物台 | 8英寸三层机械移动平台: 平台面积525mm×330mm 移动范围:210mm×210mm | 12×14英寸机械移动平台: 平台面积420mm×718mm, 移动范围:305mm×356mm; |
低手位X、Y方向同轴调节;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;玻璃载物台板,(反射用) | ||
晶圆辅助台 | 选配 | |
反射照明系统 | 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置; 带滤色片插槽与偏光装置插槽
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摄影摄像 | 0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦 | |
其他 | 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;DIC微分干涉组件; 反射用干涉滤色片组;高精度测微尺 |