半导体晶圆显微镜JX-22A_半导体晶圆检测显微镜-北京老上光仪器有限公司手机版

详细介绍

◆性能特点：
1、系统配置了大尺寸、大范围移动载物台，适合大工件的检查。
2、采用大视野目镜和长距平场物镜，视场宽阔、平坦,成像清晰。
3、采用“T”型防振结构设计，机械载物台可慢速或快速移动试样。
4、整机采用了防霉处理，保护了镜头，延长了仪器的使用寿命。

5、配置了偏光装置并可选配暗场、微分干涉装置，拓展了功能。。

◆典型应用：
1、分析金属、矿相内部结构组织。2、电子厂PCB板、芯片检验。
2、观察材料表面的某些特性，如：划痕、裂纹、喷涂的均匀性

序号	名称	技术参数
01	平场目镜	大视野 WF10X(Φ18mm)
02	长距平场物镜	PLL5X/0.12、10X/0.25、20X/0.40、40X/0.60(可选配半复平场消色差物镜)
03	总放大倍数	50X-400X
04	观察头	三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)
05	转换器	四孔 (外向式滚珠内定位)
06	粗微调调焦范围	粗微动同轴调焦, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置
07	载物台	三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm (标配8寸移动台，可选6寸)
08	光瞳距离	53-75mm
09	滤色片	蓝、磨砂
10	落射照明系统	6V 20W卤素灯,亮度可调
10	落射照明系统	带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃