半导体晶圆显微镜JX-23B_半导体晶圆检测显微镜-北京老上光仪器有限公司手机版

详细介绍

JX系列大工作平台半导体检查显微镜，采用研究级显微镜R照明系统和光学系统，人机工程学设计全面提升，照明均匀，成像清晰，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。突破性的大金相机架设计，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。

光学系统	无限远色差校正光学系统
观察方式	明场
观察筒	30°倾斜
	正像，无限远铰链式三通观察筒，瞳距调节：50-76mm，
目镜	高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调
物镜	无限远平场物镜 5X、10X、20X、50X、100X
转换器	内倾五孔转换器
调焦机构	粗微动同轴调焦，行程 29mm 微动 0.002mm/ 格，0.2mm/ 圈；
载物台	8英寸三层机械移动平台: 移动范围：200mm×200mm 带离合手抦可实现快速移动	17×12英寸机械移动平台: 移动范围：430mm×305mm；带离合手抦可实现快速移动
	低手位X、Y方向同轴调节；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板，（反射用）
晶圆辅助台	选配
反射照明系统	明场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；检偏和起偏装置
摄影摄像	1X摄像接筒，C型接口