高精度
· 的纵向分辨率：0.1 nm （ 接触式）；2 nm（光学非接触式）
· 对周围环境和光源的强适应性
· 没有机械过滤
宽阔的垂直测量范围
· 多种选择光学头及接触式
· 纵向扫描范围 100mm
· 图像“缝合”技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内
试用于几乎所有的表面
· 透明，不透明，反射光强等多种材料
· 垂直台阶，高宽深比，隆起，孔洞
· 脆性的材料，软材料，柔性材料表面
· 尖锐的，坚硬的，磨损的表面
适应性强
· 白光光源，人体安全设计，长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室，甚至工业生产环境。
· 接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的*结合
· 接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
· 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
· 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（zui大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（zui小０.１nm ）
· 软件设置恒定微力接触（0.1 to 100 [mg]）

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