非接触式轮廓仪、台阶仪
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◆微观二维(2D)和三维(3D)形貌轮廓获取 ◆多种测量功能 将采样数据运算后,可获得精确定量的面积(空隙率,缺陷密度,磨损轮廓截面积等)、体积(孔深,点蚀,图案化表面,材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等)、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。:aep.china
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