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NanoMap-D 台阶仪
是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以用于科学研究,也可以用于工业产品的检测。 该款仪器可以看做是表面研究的万用表,采用接触式和非接触式功能集于一身的设计特点,弥补两种模式的局限,发挥表面形貌仪的测量极限。光学非接触式有速度快,直接三维成象,不破坏样品等特点。探针接触模式方便快捷,制样简单,测量材料广泛。两种模式相结合可以对更多形状、性状、材质的试样进行表面形貌的研究。
台阶仪/三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。
NanoMap-D台阶仪测量表面可以覆盖90%以上材料表面。设备传感器精度高,稳定性好,材料应用面广。热噪声是同类产品zui低的。垂直分辨率可达0.01 nm ( phase-shift mode) 可测跨学科、跨领域的各种样品表面,包括透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量
6、微电子表面分析和MEMS表征
NanoMap-D台阶仪的主要特点:
高精度
· 的纵向分辨率:0.1 nm ( 接触式);2 nm(光学非接触式)
· 对周围环境和光源的强适应性
· 没有机械过滤
宽阔的垂直测量范围
· 多种选择光学头及接触式
· 纵向扫描范围 300 to 3900 μm
· 图像“缝合”技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内
试用于几乎所有的表面
· 透明,不透明,反射光强等多种材料
· 垂直台阶,高宽深比,隆起,孔洞
· 脆性的材料,软材料,柔性材料表面
· 尖锐的,坚硬的,磨损的表面
适应性强
· 白光光源,人体安全设计,长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室,甚至工业生产环境。
· 接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的*结合
· 接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
· 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
· 针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围
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