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扫描电子显微镜 SU3500
SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3 kV加速电压7 nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1、以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1它为观察和分析提出了崭新的标准。
*1：
扫描电子显微镜 SU3500特点
*2：
和日立SEM S-3400N相比
*3：
根据观察条件的不同，时间会有变动
*4：
自选
规格
| 项目 | 描述 | |
|---|---|---|
| 二次电子分辨率 | 3.0 nm(加速电压=30 kV，WD=5 mm高真空模式) 7.0 nm(加速电压=3 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 背散射电子分辨率 | 4.0 nm(加速电压=30 kV，WD=5 mm低真空模式) 10.0 nm(加速电压=5 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） 7 - 800,000倍(显示器显示倍率＊6） | |
| 加速电压 | 0.3～30kV | |
| 可变压力范围 | 6～650Pa | |
| 大样品尺寸 | 直径 200 mm | |
| 样品台 | X | 0～100mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 5～65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20～90° | |
| 可观察区域 | 直径 130 mm(旋转并用) | |
| 大样品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
| 马达台 | 5轴标配 | |
| 电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
| 探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 | |
| EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
| 图像显示 | 操作系统 | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
| 图像显示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) 小屏模式(800 × 600 像素) 双图像显示(800 × 600 像素) 四屏幕显示(640 × 480像素) 信号混合模式 | |
| 排气系统 | 操作 | 全自动排气 |
| 涡轮分子泵 | 261升/秒 × 1 | |
| 机械泵 | 135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1 | |
*5：
以127 mm × 95 mm(图像尺寸4" × 5")的显示尺寸规定倍率
*6：
以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的显示尺寸规定倍率
观察例
試料：树脂填料(玻璃纤维)
加速电压：1 kV
放大率：×1,000
試料：二氧化钛颗粒
加速电压：3 kV
放大倍率：×15,000 样品未作导电性处理
样品提供：由东北大学 垣花 眞人 様
