全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的。

技术规格：

1. 支持大晶圆尺寸：200mm

2. X-Y轴移动重复性：+/- 2 mm

3. X-Y轴移动分辨率：100 nm

4. Z轴移动重复性：+/-2mm，移动分辨率：100nm

5. 可配置4至6只探针臂，可选配RF探针臂，可选配探针卡

6. 显微镜分辨率：4mm

7. 可测试温度：77K~680K

8. MicroXact's XactTest™软件全自动控制压力及平台移动。