详细介绍

---：韩光兵
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光学测量装置

KIF-FU60，KIF-FSA是一款安装于KIF-20系列干涉仪上的干涉条纹分析系统，主要用于通过扫描干涉条纹获取测试样本的波相位，以及显示和保存测量结果。用于质量检查、生产现场的平面以及球面的面精度的定量评价。

干涉条纹解析装置，干涉条纹解析软件 KIF-FU60/FU100，KIF-FSA：规格
型号	KIF-FSA
解析方式	条纹扫描方式
测定条纹条件	正弦波状强度分布的干涉条纹（不支持多重干涉的干涉条纹解析）
干涉条纹显示图像尺寸	640×470（像素）
再现性	PV值：0.01λ（2σ）以下 RMS值：0.003λ（2σ）以下
解析功能	PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示
合格判断功能	PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示
3轴压电载物台冲程（选配件）	粗动：±3 mm（XYZ的各轴）微动：12 μm（XYZ的各轴）
使用环境	水平无震动的场所（地面震动±0.8/s²以下）温度：23±3 °C 湿度：60%以下、无结露

* 因测定时的设置环境不同，可能发生机械性能不能充分发挥的情况。
* 本装置不保证溯源体系中的精度。

工作参数设定功能
・产品名、单元名、注释
・ Fitting次数（3/4/9/16/25/36）
・像差清除（像差／Zernike系数）
・显示单位（λ、μm、nm、条纹）
・对Zernike系数的offset设定
・规格值（各像差以及用户定义式）
解析结果显示功能
・ P-V、RMS、Pwr
・赛德尔像差（倾斜、焦点、像差AS、彗差、球面像差）
・ Zernike系数（3、4、9、16、25、36项）
・ 3维鸟瞰图、2维彩图
・横切面侧面像（X、Y方向、PV、RMS）
・合格判断结果
文件输入输出功能
・工作参数的保存和读取
・条纹数据的保存和读取
・影面数据的保存和读取
・画面版面的保存和读取
・主窗口打印