详细介绍

蔡司 MultiSEM 研究合作计划

速度非凡的扫描电子显微镜

开启电子显微镜速度的革新时代

借助 MultiSEM 显微镜，您可以充分运用 91 条并行电子束的采集速度。现如今，您能够以纳米分辨率对厘米级样品成像。这款出色的扫描电子显微镜（SEM）专为 7 x 24 小时的连续、可靠运行而设计。只需简单设置高性能数据采集流程，MultiSEM 便能够独立地自动完成高衬度图像采集。

使用成熟的 ZEN 成像软件控制 MultiSEM：您可以直观灵活地管理这款高性能扫描电子显微镜的所有功能选项。

以速度和纳米分辨率采集图像

91 条电子束同时工作，拥有出色的成像速度。
在几分钟内对1 mm²的区域成像，分辨率高达 4 nm。
借助经优化的二次电子探测器，以低信噪比采集高衬度图像。

大型样品的采集和成像

MultiSEM 配备有一个可容纳 10 cm x 10 cm 大小样品的样品夹。
对整个样品成像并发现所有细节，助力于科研。
自动采集方案可实现大面积成像 - 您将获得精细的纳米图像，且不丢失可见信息。

ZEN 成像软件

使用成熟的ZEN软件简便直观地操控 MultiSEM，该软件被应用于所有蔡司成像系统
智能化自动调节程序能够帮助您以高分辨率和高衬度捕获图像
根据样品的实际情况，快速轻松地创建复杂的自动采集流程
MultiSEM的ZEN 软件可高速进行连续并行成像
开放的API软件接口可提供灵活快速的应用开发

MultiSEM 同时运用了多条电子束（绿色：照明通路）和多个探测器。微调探测通路能够收集大量的二次电子（SE）用于成像。与分光镜组合使用，可让二次电子信号到达（红色：探测通路）多探测器阵列。每条电子束在样品的一个位置执行同步扫描程序，以此获得单个拼片图像。电子束呈六边形排列。通过合并所有图像拼片生成整幅图像。

并行计算机设置程序用于快速记录数据，确保整体高成像速度。图像采集和工作流程控制在 MultiSEM 显微镜中独立。

多束扫描电子显微镜