Prep-24型 等离子清洗/刻蚀机

* 真空舱体 Φ267mm × L420 mm 水平 （24 升）  

 * 不锈钢舱体    

* 40KHz 射频发生器   

* 高效针孔电极   

* 双气路：铜气体管、气体流量计、针阀   

* 使用气体流量计和针阀控制气体   

 * 自动计时器控制等离子处理过程 

 * 半自动控制  

 * 功率连续可调 0-300W  

 * 自动阻抗匹配   

 * 自由设置参数：处理时间、功率、气体   

 * 安全保护功能：真空触发、舱门锁   

 * 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体   

 * 规格：W580 mm×H650 mm× D500 mm    

* 电源：AC 220V/50Hz  

 * 真空泵：莱宝Leybold Type D8B（8m3/h） 
配置表：

选装件；* 13.56 MHz 射频发生器     * 2.45 GHz 射频发生器    * 硅酸盐舱体（外置环形电极）       或石英舱体    * 全自动控制 
配件选装指南:

·  13.56MHz射频发生器        

 ·  2.45GHz射频发生器        

 ·  半自动控制系统      

 ·  全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统 

·  计算机（PC）控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 

·  附加气体通路   

 ·  自动真空舱门     

·  设备自动门   

 ·  条码阅读器     

·  偏压测量系统     

 ·  碟型阀     

·  排气过滤系统      

·  适用于腐蚀性气体系统

 ·  舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸     

 ·  粉末处理装置    

 ·  法拉第容器  

·  气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体 

·  玻璃舱体（硅酸盐或石英）      

 ·  预热板        

 ·  等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中 

 ·  真空泵抽气入口过滤器      

·  标签打印机    

 ·  标签阅读机      

·  加深舱体        

·  单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量  

·  网络连接系统    

 ·  聚合处理附件    

  ·  气瓶出气减压阀      

·  石英玻璃皿

 ·  卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等  

 ·  RIE电极（适用于刻蚀）      

 ·  旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理           

·  安全阀 

·  服务条约 - 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔… 

  ·  附加的配件      

·  特殊的电极和托盘      

·  特殊法兰/附加法兰      

·  特殊软件     

·  特殊真空舱体     

·  过程温度测量  

·  测试墨水（用于测试表面接触角）

  ·  真空泵系统

等离子清洗应用领域:

金属---去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层

汽车制造---用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理

纺织品生产---用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理

生物医疗---培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理。

航空航天---绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理

电子---线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性

半导体行业---晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理

LED---支架清洗封装前预处理

塑料橡胶- --提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

等离子清洗机应用：

1．表面活化/清洗； 2. 等离子处理后粘合;  3. 等离子蚀刻/活化;  4. 等离子去胶;   5. 等离子涂镀（亲水,疏水）;  6. 增强邦定性.