英国Nanobean NB5 电子束光刻机

产品详情

具有良好的稳定性，平均正常运行时间超过93%

规格:

束流电压范围为: 20kV - 100kV

光刻胶的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um区域拼接/叠加误差: 小于25nm

自动装载5卡盘气锁系统
 

英国Nanobean NB5 电子束光刻机发展目标:

改进设计和组件以减少日常服务需求。                                                             

实现每年少于5%的机器故障停机时间。                                  

提高性能                                      

便于批量生产。                                       

NB5系统将为进一步发展高偏转速度和进一步集成电子提供平台。

主营产品Product Catalog:                                  

A.特殊光源-UV灯/曝光灯Specialty Lamp                                 

 紫外光清洗灯, UV固化灯, 曝光灯, 点光源灯, 杀菌消毒灯, 医疗灯,金卤灯, 臭氧灯, 晒版灯, 卤钨灯, 红外线灯, 特殊荧光灯等。

B.光源设备Lights Equipments               

 紫外光清洗机, UV固化机, 点光源机, 曝光机, 晒版机，水净化机,环境/医疗杀菌消毒装置，光化学反应装置等。

C.UV仪器/耗材/配件

 UV能量表, UV照度计, UV光谱计, 麦拉, 水套, 离子罐, 曝光尺, 真空泵等。

D. 德国DIENER等离子清洗机, 德国OPTOSOL太阳能仪器