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条纹反射测量是一种高灵敏,非相干的光学全场测量技术。主要用于对任何材质的光洁表面进行高精度的曲率和三维坐标的测量。
该系统结构简单,它主要由一个TFT显示器和一个高分辨率的CCD照相机组成。系统还配备了两只激光二极管,以方便用户对被测物进行初始定位。测量时TFT上显示由计算机生成的条纹模式,CCD照相机获取经被测物表面反射回的条纹图像。由于物体表面形状的调制作用,CCD上得到的将是一帧变形的条纹图。采用的条纹相移技术,通过信号解调将直接得到被测物体表面的法线和梯度分布。在此基础上进行进一步的微分和积分操作后,就可得到物体的曲率和三维坐标的分布。由于物体到TFT的较大距离,使得表面法线的变化对反射光线的偏移量有显著的放大作用,以至系统在物体高度方向的坐标分辨率可达纳米量级。
图通的非相干光学测量技术,如条纹投影等,对于光滑表面无能为力。天文反射系统则充分利用了被测物体对光的反射作用,不仅是光滑表面的测量成为可能,而且将测量精度提高到相干光学测量的水平。同相干测量相比,该系统得益于VEW公司开发的照相机和系统校准技术,可获得物体精确的曲率和三维坐标的分布,而且受周围环境的影响很小可以实现在线测量。同其他超高精度接触式三坐标测量仪相比,该系统更是速度快,数据量大的优点,可以在几秒钟内获得上百万个数据点。系统的各系列型号适用于尺寸,曲率分布,反光率等各不相同的表面,甚至是液体,同时可根据用户需求专门设计。该系统已成功应用镜片加工设备的质量检测(Satisloh公司),精密加工工件表面形状测量(不莱梅大学精密制造实验室),大型太阳能聚光镜面形测量等领域。其潜在的应用还包括镀膜,喷漆表面的质量控制,表面粗糙度分析等。
该系统的另一个重要应用是对飞机表面面形结构缺陷的测量。通过比较前后不同时间段内材料形变的变化,从而对飞机结构的安全性进行评估。
配置技术参数(所有参数根据用户测量要求可专门设计):
尺寸(桌面型):500×500×790mm
坐标分辨率: 深度方向1nm 横向:测量范围/1392CCD像素
测量时间:1s-600s
测量范围:110×80mm