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RegulusSU8010是日立的SEM的全新品牌,新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了化处理,使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20%。另外,低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大,并获得高质量的图片。放大倍率也由之前的100万倍提高到了800万倍。除此之外,为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能,还对用户辅助工能进行了强化,如信号检测系统的操作辅助功能,维护辅助功能等。
日立SU-8010
扫描电子显微镜(SEM)被广泛应用于纳米材料、高分子复合材料、生物材料、能源类锂电池材料/太阳能材料、矿物材料、冶金粉末、金属材料、合金材料、陶瓷材料、半导体材料、考古文物等。近年来,新一代的电子器件应用中受到广泛期待的新型碳材料,高分子材料,复合材料等的研究作为科学技术的中坚技术,在范围内受到热捧。扫描电子显微镜广泛用于这些材料的观察和评价,但仅仅具有超高分辨率还远远不够。还要求能在低加速电压下对表面细微结构的观察和高灵敏度的元素分析。除此之外,在长期的研究过程中还追求电镜的性能的持续稳定和信赖性。