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台面整体采用三层夹心式蜂窝结构,采用焊接工艺没有松动、开裂、脱落。上台面材料为SUS410铁磁不锈钢,具有较好的耐腐蚀性能。厚度根据尺寸设计为:50/100/150/200mm,具有很好的硬度比和刚性。台面采用精密磨削工艺,台面的平面度达到0.1mm/600×600mm,台面上按照25mm×25mm孔距均布M6螺纹孔。
气浮支撑采用半膜片式空气弹簧,气室为二层结构,采用整体焊接式四支撑结构(3米及3米以上为六支撑),下方采用阻尼隔振垫,隔振性能较好,固有频率小于1.5-3hz。3个进口水平调节阀反应灵敏,响应时间短。调整高度机构分为两部分:支架下方(每个支撑腿下方)还具有高度调节,可解决地面不平引起的支架扭曲、变形等现象。