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LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共聚焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。
OLS5000拥有四个关键价值
1.捕捉任意表面形状
2.快速获得可靠数据
3.使用简单-只需放好样品按下按钮即可
4.测量具有挑战性的样品
技术规格
型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
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总倍率 | 54x - 17,280x | |||||
视场直径 | 16um - 5,120um | |||||
测量原理 | 光学系统 | 反射式共聚焦激光扫描激光显微镜 反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 彩色 彩色DIC | ||||
光接收元件 | 激光:光电倍增管(2ch) | |||||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5nm | ||||
Linear scale | 0.78nm | |||||
动态范围 | 16 bits | |||||
重复性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
准确性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
拼接图像准确度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
测量噪声*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1nm | ||||
重复性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x:0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
准确度*1 *3 *6 | 测量值 +/- 1.5% | |||||
拼接图像准确度 *1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
单次测量时测量点的数量 | 4096 x 4096 pixel | |||||
测量点的数量 | 36 Mpixel | |||||
XY 载物台配置 | 长度测量模块 | • | 无 | 无 | • | 无 |
工作范围 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
样品高度 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
激光光源 | 波长 | 405nm | ||||
输出 | 0.95 mW | |||||
激光分类 | 2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
彩色光源 | 白光 LED | |||||
电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
质量 | 显微镜主体 | 约31 kg | 约 32 kg | 约 50 kg | 约43 kg约 | 44 kg |
控制箱 | 约12 kg |
*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证 (温度: 20˚C±1˚C, 湿度: 50%±1%) 。
*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物镜测量时.
*3 在使用专用LEXT物镜测量时.
*4 在使用20X或更高倍率专用LEXT物镜测量时.
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值
*6.基于奥林巴斯认证体系保证
4K 扫描技术4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了两倍。OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶 智能判定功能由于传统激光显微镜采用图像平滑处理的方式来消除噪声,有时会将测得的正确的细微高度不规则数据连同噪声仪器消除。OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判定算法,可在不丢失细微高度不规则数据的情况下实现精确测量。 其他高分辨率测量技术
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