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MX63/MX63L半导体FPD/工业检测显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了的图像分辨率和鲜明度。
· 考虑了检查效率的设计
· 鲜明图像和的分辨率为特点的光学系
· 软件方案
· 支持缺陷检测的多种功能
· 帮助实现多种观察的附件
MX63 | MX63L | ||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正系统) | ||
显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED (带有光强度控制器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。) | |
透射光照明 | 透射光照明装置:需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 | ||
聚焦 | 行程:32毫米 | ||
载荷重量(包括载物台和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
观察筒 | 宽视场(FN 22毫米) | 正像三目镜筒:U-ETR4 | |
超宽视场(FN 26.5毫米) | 正像可调倾角三目镜筒:MX-SWETTR (光程切换99% (目镜) : 0 (相机) 或 0 : 99%) | ||
电动物镜转换器 | 明场 明场和暗场 | ||
载物台 (X × Y) | 带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R 带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC6R2 | 带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2 | |
重量 | 约35.6公斤 (显微镜架26公斤) | 约44公斤 (显微镜架28.5公斤) |