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MX61A是一款专门设计的半导体显微镜，大尺寸检查显微镜,全自动显微镜,MX61A显微镜可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作，有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品一体化。
始终提供观察影像的光学系统
提供扩展性的解决方案
实现对人和环境都没有危害的自动化
帮助实现多种观察的附件
全自动半导体检查显微镜 MX61A 规格 | |||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
反射/透射 | 反射 | ||
照明装置 | 机身一体型（明视场、暗视场＋1选件） | ||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
透射照明 | - | ||
对焦单元 | 电动/手动 | 电动 | |
行程 | 25.4 mm | ||
分辨率/微调灵敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
样本高度 | 24 mm | ||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
明暗视场微分干涉5孔 | |||
明暗视场微分干涉6孔 | |||
明暗视场微分干涉中心补正5孔 | |||
手动式 | - | ||
载物台 | 行程 | 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm | |
观察筒 | 广角视场（视场数22） | 倒置 | - |
正像 | - | ||
超宽视场（视场数26.5） | 倒置 | - | |
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
附件单元 | 自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
外形尺寸 | 711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合） | ||
重量 | 56 kg（标准组合） | ||
