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法兰和穿通法兰，真空Feedthrough又称“穿通密封件，是一种可将各种电功率、电讯号等信息在大气侧与真空室内部联通的密封装置。 本产品性能稳定，可通过CF、KF及焊接等多种方式连接。其在高真空及高真空环境下，具有良好的气密性及电参数。
| 真空馈通法兰参数 | |
| 气密性 | 漏率 < 1×10-9mbar·l/s |
| 连接方式 | CF/KF法兰连接 |
| 额定电压 | 500V DC |
| 额定电流 | 5 A per pin |
| 绝缘电阻 | ＞1000MΩ |
| 引脚数 | 9/15/25/37/50 |
| 导体直径 | 1mm |
| 温度范围 | -50℃至150℃ |
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