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JS100A是卓聚科技自主开发的国产台阶仪。具有高精度,高分辨率,搭配一体花岗岩结构,提供 稳定可靠的重复性测量。JS100A台阶仪采用金刚石探针,并提供多种可选的曲率半径,探针施加的力通过程序控制。JS100A台阶仪提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
JS100A台阶仪为多种不同表面提供结构及表面解析,包括:薄膜厚度,沟槽深度等。
JS100A台阶仪应用领域:半导体、太阳能、LED、光电子、生物医学器件、MEMS、薄膜化学图层、平板显示、触摸屏、材料学等。