H400V-MPS 真空小型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，可以在达到设定温度后通过外部移动进行点针，避免了先点针后变温因热胀冷缩效应造成的漂移现象。该探针台涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

温控参数：

温度范围：-190℃~400℃ （30℃~1000℃可选 ）

加热块材质：银

传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）

升温速率：30℃/min（@100℃）

温控速度：±0.01℃/min

温度分辨率：0.01℃ RTD传感器

温度稳定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数：

探针：默认为铼钨材质的弯针探针

探针座：可从外部XYZ移动的探针臂

粗调模式+微调模式

点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

探针接口：默认为BNC接头，可选三同轴接口

样品台面电位：默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

光学参数：

适用光路：反射光路

窗片：可拆卸与更替的窗片

物镜工作距离：8mm，12mm 可选

上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，视角±50°

负温下窗片除霜：吹气除霜管路

结构参数：

加热区/样品区直径：30 mm，（50mm可选）

样品腔高：6.3mm

探针座：可从外部XYZ移动的探针臂

粗调模式+微调模式，XY粗调20mm

XY微调行程10mm，Z微调 3mm，调节精度10μm

气氛控制：真空腔，也可充入保护气体

外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

台体尺寸/重量：300mm x 300mm x 40 mm / 4kg

※ 可直接固定在WITec拉曼光谱仪上实现高低温光电流成像及原位高低温拉曼成像。

典型应用：

微区光电流测试，表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试

晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试...

湖南大学测试中心——结合WITec拉曼光谱仪实现微区光电流成像及变温拉曼成像