OPF-H-C系列高性能气浮隔振光学平台是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验，引进国际的隔振技术而开发出的一款高性能科研级隔振平台。该隔振平台的气浮隔振腿内部采用了零摩擦三线摆结构设计，可以更大程度的隔离水平方向上的振动。在隔振器设计中还引入了大柔性体积的混合腔室设计和层流阻尼技术，大大降低了固有频率和提高了阻尼效率。

整体分为台面、圆柱形独立气浮隔振器、气泵三部分。台面内部采用桁架式六角蜂窝结构设计，垂直粘接的三芯蜂窝，每个蜂窝单元都使用三重芯板接触面，确保了的刚度和的蜂窝芯与面板、底板粘合接触面积，极大提高了平台整体的粘接强度和性能，蜂窝芯密度：≥260kg/m³。每个螺纹孔下面都有一个高强度耐腐蚀的隔离杯（孔深~20mm），便于用户取回小零件或样品，同时也起到防水防尘等作用。上台面材料选用1Cr17高导磁不锈钢，表面亚光密迪纹理处理，具有很好的耐腐蚀性能。

主要应用于超高分辨光学成像、超快实验、激光干涉实验、量子光学、精密光学测量等对振动有非常高要求的精密实验。

的技术设计（示意图）：

固有频率测试结果（上图为垂直方向，下图为水平方向）：

隔振效率：

技术参数：

l 水平方式：自动充气，自动平衡

l 固有频率：1～1.7Hz（垂直），1～1.4Hz（水平）

l 隔振效率：垂直隔振87%-94%@5Hz，92%-97%@10Hz；水平隔振80%-90%@5Hz，92%-98%@10Hz

l 重复定位精度：±0.10mm

l 自平衡气浮隔振腿：内部采用的三线摆设计，大柔性体积的混合腔室结构，层流阻尼技术。独立大圆柱腿，高性能复合材料气囊

l 台面厚度：100/150/200/250/300/400mm

l 台面平面度：≤±0.1mm/m²

l 台面粗糙度：0.6~1.5μm

l 台面孔间距：25mm（机械打孔），孔径：M6螺纹孔，孔边距：37.5mm

l 总高度：800mm，可调范围：±10mm

l 无油气泵，噪音<50db

选型表：

部分客户案例：

浙江大学（规格：3000*1500*800mm）

西湖大学