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高温SEM原位纳米压痕仪——InSEM®HT高温测试系统可在真空环境中对压头和样品分别独立进行加热,并与许多SEM/FIB工作室或独立真空工作室兼容。系统温度可高达800°C,因而可以模拟现场温度条件,以获得可靠一致的测试数据。钼支架上的单晶碳化钨压头经过优化,可用于高温测试应用,并可提供多种几何形状。
· InForce 50驱动器,压头可加热,用于电容位移测量,并配有电磁启动的可互换探头
· 样品可升温至800°C,采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统
· InQuest高速控制器电子设备,具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数
· 用于样本定位的XYZ移动系统
· SEM视频捕获,可以将SEM图像和测试数据进行同步
· 的软件集成压头校准系统,可实现快速,准确的压头校准
· 与Windows®10兼容的InView控制和数据查看软件以及协助用户设计实验的方法开发功能
· 高温测试
· 硬度和模量测量(Oliver-Pharr)
· 连续刚度测量
· 高速材料性质分布
· 蠕变测量
· 应变率灵敏度
· 大学、研究实验室和研究所
· 航空航天
· 汽车制造业
· 硬涂层
· 核能
· 军事/国防