探针卡和微型定位器

TS2000-DP可提供12倍的高压（3 kV三轴或10 kV同轴）或4倍的多手指高电流，400 A MicroPositioners。许多单探头，于防电弧高功率探头卡的探头卡座使该系统成为高功率设备特性测量的理想选择。

防电弧技术

该系统配有ArcShield™，可防止卡盘和探针压板之间发生任何可能的电弧。

防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力，并且可以使用帕申定律来防止焊盘之间产生电弧。专门设计的防电弧LiquidTray™只需将其放在高功率卡盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内，以浸没在液体中进行无电弧高压测试。MPI卡盘设计用于300°C时10 kV（同轴）。

仪器集成

TS2000-DP可以配置各种仪器连接套件，其中包括必要的高压/大电流探头和电缆附件，以优化连接至测试仪器，例如Keysight B15005（3 kV或10 kV），包括集成的模块选择器或吉时利2600-PCT-XB，包括集成的8020大功率接口面板。

设备简介：

通过TS2000-DP，MPI提供了一个多功能且经济高效的探针台，适用于20°C至300°C温度范围内的晶圆上高功率器件测量，测量能力高达3 kV（三轴）/ 10 kV（同轴）和600 A（脉冲）。