产品特点：

1，多种晶圆测量应用

• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV

• 射频、毫米波、负载拉移&4-port

• -60 至 300 °C 之集成电路设计验证、失效分析

• 可靠性测试
  

2，高弹性量测平台

• MPI IceFreeEnvironment™ 让用户即使是行使低温测试，也能同时使用微定位器与探针卡

• 可编程的显微镜滑台实现便利的自动化测试

• 实现电缆接口与集成电路测试仪器距离*短化

• 实现工作台─载物台距离*短化，是理想的毫米波量测和主动式探针架针平台

• 支援晶圆切后贴于模框之量测
  
  

3，工效学设计及弹性选配

• 简易便利的前门单晶圆/待测物上片设计

• 内建防震系统

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作

• 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)选配具自动进行露点控制功能

• 预留制冷机组空间，节省空间不占位

• 仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供*高的量测机能

设备简介：

MPI的TS3000是一个300毫米自动测头系统，专门为产品工程， 故障分析， 设计验证， 晶圆级可靠性 以及 RF和mmW 应用而设计。

TS3000功能集提供：

• 温度范围-60…300°C

• *的灵活性

• 通过设计的电缆接口，与功能测试仪的*小电缆距离可实现更好的测量方向性

• *小的压板到卡盘高度，以实现的mmW和内部节点探测

• *小的系统占地面积，在内部集成了热力系统的冷却器。两者的结合使TS3000探针台成为市场所*产品。