产品特点：

1，单机多应用设计

• 适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性（WLR)和失效分析（FA）
  

2，MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 专为EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所设计的精密量测环境。

• 支援飞安级低漏电量量测
  

• 内建防震系统
  

• 温度量测范围-60 °C 至 300 °C
  

3，工效学设计及弹性选配

• 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计
  

• 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有诸多配件如DC/RF/mmW微定位器、光学显微镜等来搭配ShielDEnviroment™，以*支援您的应用需求

  
  

设备简介：

MPI TS300-ShielDEnvironment™（TS300-SE）旨在确保在-60至+ 300°C的温度范围内对300 mm晶圆提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能。它以高度与防震台结合在一起，使日常操作非常方便。