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功能特点 |
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椭偏仪用冷热台，70°出入射角 |
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统） |
28 mm x 30 mm加热区 |
可充入保护气体的真空腔 |
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK |
*可做定制或改动，详询上海恒商 |
温控参数 | |
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温度范围 | -190℃ ~ 400℃（负温需配液氮制冷系统） |
加热块材质 | 银 |
传感器/温控方式 | 100Ω铂RTD / PID控制 |
加热/制冷速度 | +80℃/min （100℃时） -50℃/min （100℃时） |
加热/制冷速度 | ±0.01℃/min |
温度分辨率 | 0.01℃ |
温度稳定性 | ±0.05℃（>25℃） ±0.1℃（<>< span="">） |
软件功能 | 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
结构参数 | |
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加热区/样品区 | 28 mm x 30 mm |
样品腔高 | 2.8 mm *样品厚度范围 = 样品腔高 – 样品衬底厚度 |
放样 | 水平抽出上盖后置入样品 |
气氛控制 | 气密腔，可充入保护气体 |
外壳冷却 | 可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
安装方式 | 水平安装 或 垂直安装 |
台体尺寸/重量 | 97 mm x 84 mm x 36.5 mm / 500g |
配置列表 | |
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基本配置 | HCP421V-ELP冷热台 、mK2000B温控器 |
可选配件 | 冷热台安装支架 、液氮制冷系统 、外壳循环水冷系统 、 |
