产品简介

C系列是奕叶入门款式探针台,机构上可以符合基本量测需求。这为直流和射频应用提供了可重复、良好的测量。

功能特点

-同轴驱动的探针台

-卡盘上/下调整

-无间隙运动

-可安装12个探针座

-蜂巢式抗震囊

应用

基础IV/CV；射频，单宽频量测；光电学

配件

带温度控制器的热卡盘

防震桌

屏蔽箱

规格参数

探针台面积

580 mm 宽 x 460mm 深

探针台高度

450 mm (到压板)/700 mm (到显微镜)

探针台重量

40kg

平台材料

硬铬电镀钢

平台尺寸

250 mm内部, 450mm 外部

平台容量

12 DC 或 4 RF 4 DC

探针座安装

磁性ON/OFF开关

真空开关的数量

3

卡盘材料

不锈钢

卡盘台类型

同轴（可选配大旋钮高精度滑台）

卡盘行程范围

6” x 6”

卡盘快速精度

25mm/rev

卡盘精度

1 µm

卡盘旋转粗调行程

360˚

卡盘 Z向移动

4mm 范围

卡盘 Z 向精度

1 µm

同轴卡盘运动

斜面齿轮和齿条0.8mm间距

大旋钮卡盘移动

高精度线性滑台

卡盘大小

6” (150 mm)

卡盘平面度

3 µm

卡盘刚度

15 µm / 10 N @ 边沿

卡盘真空槽

中心，1”, 3” ,5”（单独控制）

卡盘偏置容量

可达到 1kV

卡盘隔离

2 GΩ

DUT 尺寸范围

2 mm - 150 mm

显微镜变焦范围

1x - 5x

显微镜目镜

20x

显微镜放大范围

20x-100x

探针座都提供X-Y-Z直线运动行程，无齿隙，安装选项包括磁铁、真空或磁铁开关

EB-050

精度：0.8µm

螺丝精度：212µm

行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-700

精度：2µm

螺丝精度：630µm

行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g

用途：仅DC

EB-005

精度：0.3µm

螺丝精度：125µm

行程范围：线性12 mm X-Y-Z尺寸：90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

C-6RF

射频选件包括附加的U形卡盘以及用于接触和校准基板，以及一个细旋转旋钮，以帮助将设备与探针对准。

VFT-3636

尺寸：36英寸（宽）x 36英寸（深）x 36英寸（高）

垂直固有频率：1.5 Hz

隔离效率：@ 5 Hz 85％

水平固有频率：1.2 Hz隔离效率：@ 5 Hz 91％

空气需求量：80 psi

净负载：200公斤

材质：钢桌面