产品概述

产品类型：能量色散X荧光光谱分析设备 

产品名称：X射线荧光镀层厚度测试仪

型    号：iEDX-150μWT

生 产 商：韩国ISP公司

亚太地区战略合作伙伴：广州鸿熙电子科技有限公司

 X射线荧光镀层厚度测试仪   iEDX-150μWT

产品优势及特征

（一）产品优势

1. 镀层检测，多镀层检测可达5层，精度及稳定性高（见以下产品特征详述）。

2. 多导毛细管配置，光斑尺寸50um

3. 平台尺寸：620*525mm，样品移动距离可达250*250mm。

4. 激光定位。

• 可检测软硬板电镀层厚度。
• 运行及维护成本低、无易损易耗品，对使用环境相对要求低。
• 可进行未知标样扫描、无标样定性，半定量分析。
• 操作简单、易学易懂、精准无损、高品质、高性能、高稳定性，快速出检测结果。
• 可针对客户个性化要求量身定做辅助分析配置硬件。
• 软件*升级。
• 无损检测，一次性购买标样可重复使用。
• 使用安心无忧，售后服务响应时间24H以内，提供*保姆式服务。
• 可以远程操作，解决客户使用中的后顾之忧。

（二）产品特征

• 高性能高精度X荧光光谱仪（XRF）
• 计算机 / MCA(多通道分析仪)

2048通道逐次近似计算法ADC（模拟数字转换器）。

• Multi Ray. 运用基本参数（FP）软件，通过简单的三步进行无标样标定，使用基础参数计算方法，对样品进行精确的镀层厚度分析。
• MTFFP (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度分析

多镀层厚度同时测量

 4.1 单性金属镀层厚度测量。

 4.2 合金镀层厚度测量。

 4.3 双镀层厚度测量。

 4.4 双镀层（其中一层是合金）厚度测量。

 4.5 三镀层厚度测量。

 4.6 测量点大小：50um。

 4.7 测试精度及稳定性

     电镍金，化镍金：

     当Au≥0.05um，Ni(NiP)≥3um时，测量时间60S，

     准确度：Au≤±3% ，Ni≤±3%             

     精确度：Au≤3% ，Ni≤2%;       

     化镍钯金：

     测量标准片Au/Pd/Ni/Base 0.05/0.09/3um，测量时间60S，

     准确度：Au≤±3% ，Pd≤±5% ，Ni≤±3%，

     精确度：Au≤3% ，Pd≤5% ，Ni≤3%        

   注：准确度公式：准确度百分比=（测试10次的平均值-真值）/真值**）；                         

    精确度COV公式：（标准偏差S/10次平均值）**

• Multi-Ray, WINDOWS7软件操作系统
• 完整的统计函数均值、 标准差、 低/高读数，趋势线，Cp 和 Cpk 因素等
• 自动移动平台，包括自动对焦功能、方便加载函数、瞄准样品和拍摄、激光定位和自动多点测量功能。

产品配置及技术指标说明

镀层厚度测试仪  iEDX-150μWT

1. X射线管：高稳定性X光光管，使用寿命（工作时间>18,000小时）

微焦点X射线管、Mo (钼) 靶

铍窗口， 阳极焦斑尺寸75um，油绝缘，气冷式，辐射安全电子管屏蔽。

50kV，1mA。高压和电流设定为应用程序提供zuijia性能。

• 探测器：SDD 探测器

能量分辨率：125±5eV

• 滤光片：无
• 平台：软件程序控制步进式电机驱动X-Y轴移动大样品平台。
  激光定位、简易荷载大负载量为5公斤
  软件控制程序进行持续性自动测量
• 样品定位：显示屏上显示样品锁定、简易荷载、激光定位及拍照功能

6. 分析谱线：

- 2048通道逐次近似计算法ADC（模拟数字转换）

- 基点改正（基线本底校正）

- 密度校正

- Multi-Ray软件包含元素ROI及测量读数自动显示

7．视频系统：高分辨率CCD摄像头、彩色视频系统

- 大放大倍数：720X

- 照明方法：上照式

- 软件控制取得高真图像

8. 计算机、打印机（赠送）

• 含计算机、显示器、打印机、键盘、鼠标
• 含Win 7/Win 10系统。
• Multi-Ray镀层分析软件

注：设备需要配备稳压器，需另计。